《半导体洁净环境用丁腈手套》团体标准正式发布

洁净手套

在半导体材料整个产业链生产过程中非常重要，直接影响相关产业的品质，但是，由于国内半导体材料行业发展迅速，在买卖双方品质技术要求上未达成统一标准，取样测试要求参差不齐或缺失，给供方与客户对产品的验收造成一定困扰，而且时效性不好。为避免丁腈手套接触设备表面造成二次污染，对丁腈手套的品质需要进行严格控制。目前，美国FDA发布ASTM D6319-10(2015) 《医疗检查用丁腈橡胶手套的标准规格》，该标准规定了检查项目、技术指标及各项的合格判定；《IEST-RP-CC005.3洁净室用手套手指套测试标准》，其描述了程序测试手套和指套用于无尘室和其他控制环境，测试确定提供清洁、物理和化学的完整性和其他相关属性。以上标准为我国制定该类型产品的技术标准提供了重要依据。而国内目前只有标准《GB 10213—2006一次性使用医用橡胶检查手套》，且规定了橡胶检查手套的性能和安全性要求，但由于以上标准缺少抽样方案和外观检验项目，相关技术指标主要适用于医用检查方面的应用。而半导体材料洁净环境中没有明确和统一的关于丁腈手套的产品分类、技术要求(不透水性、液态颗粒数、非挥发残留物、离子含量)、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存等技术标准，为更好的帮助半导体材料洁净环境选择和规范使用丁腈手套，故结合现有此类标准的相关技术要求和参数，在其基础上统筹优化后制定此标准。

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经过近三年的研究摸索，在半导体材料，液晶面板等行业积累了丰富的经验；建立了洁净手套的企业规范标准，而且对产品的品质检测也有成熟的分析方法，客观地反映不同等级手套的品质状况，给使用部门提供重要的数据支持，因此建议将该产品制定技术规范，并补充国内标准空白，促进半导体材料行业共同进步。